容器組件

FLP-60W 氣動低脈動波紋管泵 IWAKI 易威奇

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簡單介紹

FLP-60W 氣動低脈動波紋管泵 IWAKI 易威奇 FLP-60W 氣動低脈動波紋管泵 IWAKI 易威奇 FLP-60W 氣動低脈動波紋管泵 IWAKI 易威奇不需要阻尼器，實現低脈動，有助于降低總成本它通過適用于單晶圓工藝的出色負載跟隨性實現穩定工作

的詳細介紹

產品特點

低脈動：根據激光位移傳感器和接近開關的信號，控制器始終跟蹤波紋管的位置。通過控制器判斷左右波紋管的*合適相位覆蓋量，并通過切換電磁閥來減小脈動。

優異的負載跟隨性，適用于單晶圓工藝：通過執行相位控制改善了負載波動的可跟隨性。特別是在頻繁發生壓力波動的生產線中，例如單張紙加工，其高負荷跟隨能力實現了排出量和排出壓力的穩定操作。

無需阻尼器，節省空間：由于不需要安裝阻尼器，因此實現了裝置的節省空間。管道工作也很容易，可以減少昂貴的管道材料，如氟樹脂配件，有助于更小更輕的設備。

**設計：波紋管焊接結構可防止液體泄漏，即使波紋管破裂，也會采用檢測漏液的泄漏傳感器，因此您可以放心使用。

產品規格

*大放電量注意1 L/min	50
*大脈動壓力寬度MPa	0.06
可用的液體溫度范圍（*大供氣壓力）°C（MPa）	5 ? 100（0.5）、101 ? 150（0.4）、151 ? 180（0.3）
供氣壓力MPa	0.41 ? 0.5	0.31 ? 0.4	0.21 ? 0.3	0.11 ? 0.2	0.1
spm的*大筆畫數	120	140	155	160
*大空氣消耗量NL / min	464	419	338	252	116
*大液體輸送粘度mPa?s	50
自吸能力注2m	1
工作環境溫度/濕度℃/％RH	0至60（不凍結）/ 35至85（無冷凝）
儲存環境溫度/濕度℃/％RH	-10至60（不凍結）/ 35至95（無冷凝）
安裝環境	室內（塵埃較少的環境），劇烈振動/沒有沖擊，水/油等不擴散，沒有腐蝕性氣體，使泵材料顯著惡化
防爆	非防爆結構（不適用于易燃或爆炸性氣體/液體環境）
使用條款	間歇性操作
使用方法	驅動空氣外部強制切換系統
連接管道口mm	φ25×φ22（管）
供氣連接口直徑	Rc 3
空氣吹掃端口連接端口	φ6的單觸式接頭
重量kg	22

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