容器組件

FLP-60W 氣動低脈動波紋管泵 IWAKI 易威奇

產(chǎn)品名稱：FLP-60W 氣動低脈動波紋管泵 IWAKI 易威奇
產(chǎn)品型號：FLP-60W型
產(chǎn)品廠商：IWAKI 易威奇
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簡單介紹

FLP-60W 氣動低脈動波紋管泵 IWAKI 易威奇 FLP-60W 氣動低脈動波紋管泵 IWAKI 易威奇 FLP-60W 氣動低脈動波紋管泵 IWAKI 易威奇不需要阻尼器，實(shí)現(xiàn)低脈動，有助于降低總成本它通過適用于單晶圓工藝的出色負(fù)載跟隨性實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定工作

FLP-60W 氣動低脈動波紋管泵 IWAKI 易威奇

的詳細(xì)介紹

FLP-60W 氣動低脈動波紋管泵 IWAKI 易威奇

產(chǎn)品特點(diǎn)

低脈動：根據(jù)激光位移傳感器和接近開關(guān)的信號，控制器始終跟蹤波紋管的位置。通過控制器判斷左右波紋管的*合適相位覆蓋量，并通過切換電磁閥來減小脈動。

優(yōu)異的負(fù)載跟隨性，適用于單晶圓工藝：通過執(zhí)行相位控制改善了負(fù)載波動的可跟隨性。特別是在頻繁發(fā)生壓力波動的生產(chǎn)線中，例如單張紙加工，其高負(fù)荷跟隨能力實(shí)現(xiàn)了排出量和排出壓力的穩(wěn)定操作。

無需阻尼器，節(jié)省空間：由于不需要安裝阻尼器，因此實(shí)現(xiàn)了裝置的節(jié)省空間。管道工作也很容易，可以減少昂貴的管道材料，如氟樹脂配件，有助于更小更輕的設(shè)備。

**設(shè)計(jì)：波紋管焊接結(jié)構(gòu)可防止液體泄漏，即使波紋管破裂，也會采用檢測漏液的泄漏傳感器，因此您可以放心使用。

產(chǎn)品規(guī)格

*大放電量注意1 L/min	50
*大脈動壓力寬度MPa	0.06
可用的液體溫度范圍（*大供氣壓力）°C（MPa）	5 ? 100（0.5）、101 ? 150（0.4）、151 ? 180（0.3）
供氣壓力MPa	0.41 ? 0.5	0.31 ? 0.4	0.21 ? 0.3	0.11 ? 0.2	0.1
spm的*大筆畫數(shù)	120	140	155	160
*大空氣消耗量NL / min	464	419	338	252	116
*大液體輸送粘度mPa?s	50
自吸能力注2m	1
工作環(huán)境溫度/濕度℃/％RH	0至60（不凍結(jié)）/ 35至85（無冷凝）
儲存環(huán)境溫度/濕度℃/％RH	-10至60（不凍結(jié)）/ 35至95（無冷凝）
安裝環(huán)境	室內(nèi)（塵埃較少的環(huán)境），劇烈振動/沒有沖擊，水/油等不擴(kuò)散，沒有腐蝕性氣體，使泵材料顯著惡化
防爆	非防爆結(jié)構(gòu)（不適用于易燃或爆炸性氣體/液體環(huán)境）
使用條款	間歇性操作
使用方法	驅(qū)動空氣外部強(qiáng)制切換系統(tǒng)
連接管道口mm	φ25×φ22（管）
供氣連接口直徑	Rc 3
空氣吹掃端口連接端口	φ6的單觸式接頭
重量kg	22

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