HORIBA堀場 數(shù)字式液體質(zhì)量流量控制器

HORIBA堀場制作所 數(shù)字式液體質(zhì)量流量控制器LV-F20[PO/MO]

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LF-F 和 LV-F 系列數(shù)字式液體質(zhì)量流量控制器采用珀爾帖元件冷卻液體，而非更常見的熱交換方法。該技術(shù)消除了低沸點化學(xué)物質(zhì)沸騰的風(fēng)險，從而實現(xiàn)更**的化學(xué)控制。

概要

• 提供微升至超低流量控制

• 實現(xiàn)低沸點和高粘度液體材料的**流量控制

• 超潔凈設(shè)計

測量技術(shù)

冷卻測量方法
該系列液體質(zhì)量流量控制器中的流量傳感器由與毛細(xì)管接觸的電子冷卻元件（珀爾帖元件）以及幾個溫度檢測元件組成。當(dāng)液體流動時，傳感器檢測對應(yīng)流量的溫升（ΔT），并以流量顯示。與熱交換不同，這種冷卻方法能夠測量低沸點液體的流量。此外，該方法還能防止由于二次排放（汽化）的影響而產(chǎn)生的干擾問題，使**的流量測量成為可能。

結(jié)構(gòu)/工作原理
LV-F 和 LF-F 系列質(zhì)量流量計采用相同的測量原理。LV-F 系列還配備一個壓電閥和一個內(nèi)部比較控制回路。對流量設(shè)定信號和流量輸出信號進行比較，并自動控制閥門孔徑，使兩個信號匹配以控制液體。由于采用了反饋控制系統(tǒng)，不會因外部因素而導(dǎo)致流量變化，因此確保了穩(wěn)定和**的控制。

配置