容器組件
HORIBA堀場 性能壓力質量流量計
- 產品名稱：HORIBA堀場 性能壓力質量流量計
- 產品型號：D717T
- 產品廠商：HORIBA堀場制作所
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簡單介紹
HORIBA堀場制作所 性能壓力不敏感質量流量計D717T
HORIBA堀場 性能壓力質量流量計
的詳細介紹HORIBA堀場制作所 性能壓力不敏感質量流量計D717T
HORIBA堀場制作所 性能壓力不敏感質量流量計D717T
HORIBA堀場制作所 性能壓力不敏感質量流量計D717T
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D700T是性能*佳的壓力不敏感質量流量模塊，專為關鍵的半導體制造工藝而設計。D700T采用HORIBA CRITERION基于壓力的流量測量和控制技術，提供行業**的可重復和**的性能。此外，D700T的獨特之處在于采用**的先進流量控制算法和雙閥結構，使客戶的氣體輸送系統能夠解決多種挑戰。
概要
≤100msec全線快速穩定時間（可設為“設置”、“升壓”、“降壓”）
進出口壓力不敏感性能
先進的故障檢測，診斷壓力傳感器移位，閥座泄漏和流量精度變化
在0.15%標準價格范圍內可重復性
*佳精度規格在0.45% S.P.以內*（標準：0.8% S.P.）
更寬的工作溫度范圍（15-60°C）
*注：D700T為單氣體配置。向堀場詢問規格。
配置
