容器組件
HORIBA堀場 微流量壓力質(zhì)量流量計
- 產(chǎn)品名稱：HORIBA堀場 微流量壓力質(zhì)量流量計
- 產(chǎn)品型號：D717uF
- 產(chǎn)品廠商：HORIBA堀場制作所
- 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹
HORIBA堀場 微流量壓力質(zhì)量流量計D717uF
HORIBA堀場 微流量壓力質(zhì)量流量計
的詳細(xì)介紹HORIBA堀場 微流量壓力質(zhì)量流量計D717uF
HORIBA堀場 微流量壓力質(zhì)量流量計D717uF
HORIBA堀場 微流量壓力質(zhì)量流量計D717uF
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D700uF（Micro Flow）專為≤5SCCM流量應(yīng)用而設(shè)計。
在高縱橫比工藝中，≤5SCCM的流量控制是非常關(guān)鍵的。
專門的組件和新開發(fā)的內(nèi)部低流量標(biāo)準(zhǔn)允許高精度流量控制低至0.025SCCM。
概要
低至0.025SCCM流量控制能力
精密調(diào)氣控制，提高工藝可調(diào)性
≤100ms升壓響應(yīng)和mfc到mfc偏差控制
提供高生產(chǎn)率和更高的過程性能
內(nèi)部流量計量
所有制造產(chǎn)品的可靠性能
狀態(tài)監(jiān)控功能
為更智能的故障預(yù)測提供更多內(nèi)部數(shù)據(jù)
PFA噴嘴具有更好的閥門關(guān)閉性和耐腐蝕性
具有較小顆粒風(fēng)險的魯棒性，可減少停機時間并優(yōu)化產(chǎn)量
