容器組件
HORIBA堀場 高響應壓力質量流量器
- 產品名稱：HORIBA堀場 高響應壓力質量流量器
- 產品型號：D717MG
- 產品廠商：HORIBA堀場制作所
- 產品文檔：
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簡單介紹
HORIBA堀場制作所 高響應壓力非敏感質量流量器D717MG
HORIBA堀場 高響應壓力質量流量器
的詳細介紹HORIBA堀場制作所 高響應壓力非敏感質量流量器D717MG
HORIBA堀場制作所 高響應壓力非敏感質量流量器D717MG
HORIBA堀場制作所 高響應壓力非敏感質量流量器D717MG
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關鍵的半導體制造過程不斷要求**的氣體流量控制設備，以實現未來的**，以及**的存儲和邏輯設備的實驗室到工廠的過渡。HORIBA公司提出了新的基于壓力的MFC D700MG, D500MG的上部兼容型號，以支持客戶的挑戰。
概要
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工具上氣體和全尺寸配置更改 *僅 EtherCAT
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為流程優化提供靈活性
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100 ms 響應速度和mfc到mfc的偏差控制
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提供高生產力和更大的過程性能
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小流量 MRMG 功能（Bin101 - Bin105）
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為需要小流量的工藝提供靈活性
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PFA 噴嘴具有更好的閥門關閉和耐腐蝕性能
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穩定性性和較小的顆粒風險，減少停機時間和優化產量
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狀態監控功能
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為更智能的故障預測提供更多的內部數據
配置
