容器組件
HORIBA堀場 腔室清洗監測的氣體監測儀
- 產品名稱：HORIBA堀場 腔室清洗監測的氣體監測儀
- 產品型號：IR-200
- 產品廠商：HORIBA堀場制作所
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簡單介紹
HORIBA堀場制作所 腔室清洗監測的氣體監測儀IR-200
HORIBA堀場 腔室清洗監測的氣體監測儀
的詳細介紹HORIBA堀場制作所 腔室清洗監測的氣體監測儀IR-200
HORIBA堀場制作所 腔室清洗監測的氣體監測儀IR-200
HORIBA堀場制作所 腔室清洗監測的氣體監測儀IR-200
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IR-200 實時監測四氟化硅（SiF4）氣體濃度，并根據 SiF4 氣體濃度確定清洗終點。
概要
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監測高達 5000 ppm 的 SiF4 濃度
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緊湊設計
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可安裝至排氣管路
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除 SiF4 外，該氣體監測儀還可用于測量 CIF3 和其他氣體。
配置
