HORIBA堀場制作所 高靈敏度二氧化硅濃度計SLIA-300

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滿足以 0.01μg/L (0.01 ppb) 的較高靈敏度測量超低密度二氧化硅的客戶需求

半導體生產制程中使用的超純水可以通過使用離子交換樹脂進一步純化。快速捕獲從離子交換樹脂中溶解的二氧化硅可以控制超純水的質量，這對制程十分重要。
HORIBA Advanced Techno 開發并采用了一種新的“長光路徑長度測量單元”，能夠對超低密度二氧化硅進行高靈敏度測量，同時還提供緊湊的桌面型號，以提高實用性。
該產品具有自診斷等一系列標準功能以及高速響應和高靈敏度等新的性能改進，為半導體生產制程中的純水工藝提供了更強的支持。

概要

• 高靈敏度和高重復性

應用光纖技術確保約 1 m 的長光路徑實現了超低密度的高靈敏度響應。該產品可確保 5 分鐘高速測量過程，在 0-2 μg/L 測量范圍內實現±2% F.S.的重復精度。

• 桌面型號緊湊設計

長光路徑長度測量單元”的靈活結構也實現了緊湊設計。這種桌面型號適用于狹窄空間在內的各種安裝條件。

• 試劑消耗減少至 1/5

為了將試劑消耗減少至先前的 1/5，反應單元已改進并與測量池分離。此外，測量單元已變更為管路型。采用“長光路徑長度測量單元”可以大幅降低試劑的運行成本。

• 試劑消耗減少一半以上

不僅減少了試劑的消耗，還減少了樣品水的消耗。通過采用“長光路徑長度測量單元”，昂貴的純水（用作樣品水）消耗減少了 60%。HORIBA Advanced Techno 的二氧化硅濃度計有助于降低現場運行成本。   

• 濃度計誤操作的自診斷功能

對誤操作執行自診斷，例如樣品水和/或試劑注入、校正錯誤、單元內溫度檢測和光源錯誤。發現錯誤時，警告燈點亮并顯示文本消息。

• 自動校正實現出色的可維護性

持續自動執行零點校準，以檢查透射光并校正濁度。

• 允許多達六點測量（可選）

可設置多達六個測量點。單個單元可進行多點測量。

• 采用半長久光源：無需更換

采用單色性半導體光源，提供穩定的光量和更長的壽命。可用作半長久光源。

長光路徑長度測量單元：可檢測低至 0.01 μg/L

測量單元為雙層結構，其中透光氟碳樹脂管穿過不銹鋼管。由于碳氟化合物管和周圍空氣之間的折射率差異，從管路一側進入的光到達另一側之前在管路中反復反射。
這種光傳輸機制是光纖有效率和低阻塞原理的應用，實現了更高的檢測靈敏度和高重復性。（申請中）

這款長光路徑測量單元采用柔性管路結構，尺寸緊湊。通過將長達 1 米的單元存儲在桌面緊湊機身中，成功將單元尺寸縮小至前代型號的 1/8。
此外，該測量單元的管路結構可有效降低運行成本：顯色劑和樣品水的消耗分別降低到先前量的 1/5 和 1/2。