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    容器組件

    kakuhunter寫真化學 晶圓映射膜厚測量裝置

    • 產品名稱:kakuhunter寫真化學 晶圓映射膜厚測量裝置
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    • 產品廠商:kakuhunter寫真化學
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    kakuhunter寫真化學 晶圓映射膜厚測量裝置

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    kakuhunter寫真化學 晶圓映射膜厚測量裝置

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    晶圓映射裝置能夠在*大 300 mm 的晶圓的整個表面進行自動映射膜厚測量。自動對位功能、自校準功能和高平整度晶圓卡盤可實現高度可靠的薄膜厚度測量。該裝置與小型膜厚監視器組合使用。
    它可以安裝在半導體制造設備的負載端口,以控制制造設備上的薄膜厚度,同時保持清潔度。




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