容器組件

真空泵

產(chǎn)品名稱：真空泵
產(chǎn)品型號： SDE系列
產(chǎn)品廠商：日本樫山kashiyama
產(chǎn)品文檔：

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簡單介紹

真空泵

的詳細(xì)介紹

日本樫山kashiyama 真空泵 SDE系列電/微詳詢趙13062644508

產(chǎn)品特點(diǎn)
大抽氣速率：以 SDE90X 為例，抽氣速率為 58L/s，*大抽速可達(dá) 1300L/min，能快速抽取氣體，適用于大尺寸晶圓和 FPD 基板處理等需要大排量抽氣的場景。
節(jié)能：屬于節(jié)能型產(chǎn)品，如 SDE90X 功率為 1.3kW，相比傳統(tǒng)類型可降低 54% 的功耗，通過參數(shù)優(yōu)化實(shí)現(xiàn)了能源有效利用。
極限壓力低：能提供較高真空度，例如 SDE90X 極限壓力可達(dá) 57Pa，滿足對真空環(huán)境要求較高的工藝需求。
耐用性強(qiáng)：SDE - X 系列采用耐腐蝕結(jié)構(gòu)材料并具備溫度控制功能，可承受各種復(fù)雜工藝流程，適合連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)，減少故障發(fā)生頻率。
適應(yīng)性廣：可通過設(shè)置適應(yīng)廣泛工藝需求，能有效排出含有水蒸氣或水滴的氣體、易燃或腐蝕性氣體等。
噪音低、振動小：運(yùn)行時(shí)噪音和振動小，營造相對安靜的工作環(huán)境，減少對周邊設(shè)備和環(huán)境的影響。
維護(hù)方便：軸封采用機(jī)械密封，便于維護(hù)和保養(yǎng)，降低維護(hù)成本和停機(jī)時(shí)間。
結(jié)構(gòu)緊湊：如 SDE90X 外形尺寸為 370mm×557mm×690mm，重量為 32kg，整體結(jié)構(gòu)緊湊、重量輕，便于安裝和集成到各種設(shè)備中。
主要型號及參數(shù)
電源電壓：通常為三相 AC200 - 220V（50/60Hz），部分型號也可提供 380 - 480V 電壓選擇。
常見型號：包括 SDE90X、SDE120TX、SDE200、SDE303X/TX、SDE603X/TX、SDE1203X/TX、SDE20N12TX、SDE30N20、SDE60N20 等。
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體制造：在半導(dǎo)體晶圓制造過程中的蝕刻、鍍膜、光刻等工藝，需要快速抽取大量氣體以維持高真空度，SDE 系列真空泵的大抽氣速率和低極限壓力能夠滿足這些工藝要求。
平板顯示（FPD）制造：用于 FPD 基板的處理，如液晶面板、有機(jī)發(fā)光二極管（OLED）面板的生產(chǎn)過程中，需要對真空鍍膜、封裝等工藝提供穩(wěn)定的真空環(huán)境，SDE 系列真空泵可有效抽取工藝過程中產(chǎn)生的氣體，保證產(chǎn)品質(zhì)量。
其他領(lǐng)域：還可應(yīng)用于需要處理大氣體排量、高真空度的化工、制藥、科研等領(lǐng)域，例如化工工藝中的蒸餾、干燥過程，以及科研實(shí)驗(yàn)室中的真空鍍膜實(shí)驗(yàn)、真空干燥實(shí)驗(yàn)等。

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