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容器組件

半導體行業壓力表

  • 產品名稱: 半導體行業壓力表
  • 產品型號:GW35/GW45
  • 產品廠商:NKS 長野計器
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簡單介紹

半導體行業壓力表

的詳細介紹
NKS 長野計器    半導體行業壓力表  GW35/GW45   電/微   詳詢    趙13062644508

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用于半導體氣體整合過程

即使在高純度半導體氣體和腐蝕性氣氣大氣中,它也表現出**的性能。
該壓力表的制造具有充分的氣密性和清潔特性,適用于半導體過程,尤其是高純度流體。
認證標準: ico_rohs
特征
- 布爾登管,連接零件,箱子和內部機器等米頭零件由不銹鋼制成,
使其不僅可以耐腐蝕,不僅可以測量物體,而且還可用于大氣。 - 在嚴格的質量控制下  進**體接觸部件的焊接

,包括氬電弧焊接和壓力抗性和密封檢查 。 *選擇壓力表時,  選擇壓力范圍,以使正常壓力的上限在以下范圍內,以確保**性能。   對于恒壓:3/4壓力范圍的*大值   :2/3壓力范圍的*大值  ,并確保列出的氣體接觸材料與測得的流體兼容。




特點

  • 材質優良:波登管、連接件、外殼和內部單元等主要部件均采用不銹鋼制成,具有良好的耐腐蝕性,不僅能抵抗被測主體的腐蝕,對大氣環境也有出色的耐受性,可適應半導體制造過程中的各種化學物質和氣體環境2
  • 焊接工藝先進:氣體接觸部件的焊接采用氬弧焊,確保焊接質量,在耐壓性和氣密性方面表現出色,能夠滿足半導體工藝對壓力表的高要求,防止氣體泄漏影響測量精度或造成**隱患2
  • 高清潔度與氣密性:在制造過程中充分考慮了氣密性和清潔度,適用于半導體工藝中的高純度流體測量,避免雜質或氣體泄漏對半導體生產造成污染或干擾2

工作原理

基于波登管的彈性變形原理。當被測壓力作用于波登管時,波登管會產生相應的變形,這種變形通過連接機構傳遞給壓力表的指針或其他測量元件,將壓力變化轉化為可讀取的數值,從而實現對壓力的測量。

應用領域

主要用于半導體氣體集成工藝,在高純度半導體氣體和腐蝕性氣體氣氛等條件下能穩定工作并表現出優異的性能,可**測量半導體制造過程中各種氣體管道、反應腔室等部位的壓力,為半導體工藝的**控制提供關鍵數據支持2

選型要點

  • 測量范圍:根據實際測量需求選擇合適的壓力范圍。一般在恒定壓力下,*大工作壓力不超過所選壓力表滿量程的 3/4;在壓力波動情況下,*大工作壓力不超過滿量程的 2/32
  • 精度等級:根據半導體工藝對壓力測量精度的具體要求,選擇相應精度等級的產品。
  • 接口類型:確保所選壓力表的接口尺寸和連接形式與實際使用的管道、設備相匹配,以便順利安裝和連接。


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