容器組件

氧氣分析儀

產品名稱：氧氣分析儀
產品型號：MS-500
產品廠商：日本TORAY東麗
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簡單介紹

氧氣分析儀

的詳細介紹

日本TORAY東麗氧氣分析儀 MS-500 電/微詳詢趙13062644508

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日本TORAY東麗氧氣分析儀 MS-500 電/微詳詢趙13062644508

型號：MS-500
MS-500
能夠同時測量多達8個點
顯示廣泛的濃度范圍，從ppm級別到100%
*適合安裝在半導體制造設備、真空設備等中。
直接插入式傳感器（帶真空法蘭的NW 16/25/40）
用于高耐用傳感器的特殊涂層，以提高耐用性

MS-500 規格
測量原理鋯英石濃差電池類型
類型分離式（轉換器：壁掛式；傳感器：直插式）
顯示系統 4位數字顯示（濃度顯示）
測量范圍 0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol%O2　10-20～10-0atm
自動范圍
重復性在滿量程的±0.5%以內；范圍為0-1%或更高
在滿量程的±1%或±0.1 ppm，以較大者為準；范圍小于0-1%
在0-1 ppm，大氣壓范圍內的濃度不再保修。
測量點數量 1～8
樣品氣體要求壓力 10-3至200千帕（**壓力）
流量 0.5至5,000毫升/分鐘或0毫升/分鐘（自然分散狀態下測量）
濕度露點低于環境溫度
溫度 0到100°C
其他不得含有腐蝕性氣體（氟氣、氯氣、硫酸氣體等）、含有機硅的氣體、易燃物質（包括氣體）、油或水分
參考氣體大氣層
錄音機輸出 **變速箱輸出
變速器輸出 RS-232C
報警輸出無
熱身時間 6分鐘或更少
維度 MS-500（控制器） 92 毫米 (寬) × 44 毫米 (高) × 120 毫米 (深)　 (不包括突出部分)
MS-510（轉換器） 100 毫米 (寬) × 40 毫米 (高) × 88 毫米 (深)　 (不包括突出部分)
傳感器單元 SD16西北總長度 100毫米（傳感器 ? 11×39，主體 ? 40×51）
SD25西北總長度 100毫米（傳感器 ? 11×42，主體 ? 40×48）
SD40西北總長度 100毫米（傳感器 ? 11×41，主體 ? 40×49）
重量 MS-500（控制器）約0.6千克
MS-510（轉換器）約0.5千克
傳感器單元 SD16西北約0.2千克
SD25西北約0.2千克
SD40西北約0.35千克
外部連接任何一種真空法蘭（NW16、25 或 40）
力量 24V直流電±10%

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